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臺灣艾德克斯 IT8513C，常州同惠 TH2829C，北京普源 DG800信號發生器，臺灣艾德克斯電源，程控耐壓測試儀，可編程直流電源

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國產高精度源表S3012H助力半導體行業測試

國產高精度源表S3012H助力半導體行業測試

臺式源表S3012H經濟高效單通道高精度源表，標準半機架寬度，豐富的液晶屏操作界面，成為各種高精度高分辨率測試任務的理想選擇。

S3012H高精度源表特點：

高量程-量程：±200 V、±3 A（直流）、±10A（脈沖）

高分辨率-*小測量分辨率可達100fA/100nV

高采樣率-*高可支持1M的ADC采樣率

硬件同步-單機多機同步，純硬件高速同步，可現實多通道低時延同步
S3012H高精度源表功能與優勢：

5功能于一身：電壓源 電流源 電流表 電壓表 電子負載

、

三象限為源：輸出V/I的實際極性跟隨源設定；四象限為負載：CC和CV配合，當負載用時，負載設定極性與源極性相反；

可測試各種設備

捕獲更多的測量數據

? 6 位半的數字分辨率: 精度相當于6 位半數字萬用表；
? 100 fA / 100 nV分辨率: 設置與測量優良的靈敏度；
? 1M點/秒: 提供高速測量，可以快速設置/數字化率于任意波形發生器/列表掃描；

豐富的掃描功能

S3012H高精度源表產品指標：

工作條件
溫度 23 °C ± 5 °C，
濕度 30% 至 70% 相對濕度
預熱 60 分鐘后測量，測量時環境溫度變化小于± 3 °C
校準周期 1 年
測量速度 1PLC

電壓源指標

電壓設置精度	量程	設置分辨率	精度(1 年)±(%讀數+ 偏置)	典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10Hz
	±200 V	1mV	0.02%+40 mV	600 μV
	±20 V	100 μV	0.02%+5 mV	100 μV
	±6 V	10 μV	0.02%+500 μV	4 μV
	±200 mV	1 uV	0.02%+200 μV	2 μV
溫度系數	±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道*大輸出功率	30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設置時間	<800uS (典型值)
過沖	<±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)
噪聲 10Hz-20MHz	6V 電壓源，3A 電阻負載，<3mV RMS

電流源指標

電流設置精度	量程	設置分辨率	精度(1 年)±(% 讀數+偏置)	典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10Hz
	±10 A1	50 μA	0.4% + 40 mA	NA
	±3 A	20 μA	0.05% + 5 mA	10 μA
	±1.5A	5 μA	0.02% + 500 μA	3 μA
	±150 mA	500 nA	0.02% + 25 μA	800 nA
	±15 mA	50 nA	0.02% + 2.5 μA	100 nA
	±1.5 mA	5 nA	0.02% + 150 nA	20 nA
	±150 μA	500 pA	0.02% + 25 nA	200 pA
	±15 μA	50 pA	0.02% + 3 nA	75 pA
	±1.5 μA	5 pA	0.03% + 600 pA	50 pA
	±150 nA	500 fA	0.05% + 300 pA	10 pA
溫度系數	±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道*大輸出功率	30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設置時間	<500us (典型值)
過沖	<±0.1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)

1，10A 量程僅支持脈沖模式,精度為典型值

電壓表指標

電壓測量精度	量程	顯示分辨率	精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)
	±200 V	100 μV	0.02% + 40 mV
	±20 V	10 uV	0.02% + 5 mV
	±6 V	1 uV	0.02% + 500 uV
	±200mV	100 nV	0.02% + 200 μV
溫度系數	±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

電流表指標

電流測量精度	量程	顯示分辨率	精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)
	±10 A1	10 μA	0.4% + 25 mA
	±3 A	10 μA	0.05% + 5 mA
	±1.5A	1 μA	0.02% + 500 μA
	±150 mA	100 nA	0.02% + 25 μA
	±15 mA	10 nA	0.02% +2 μA
	±1.5 mA	1 nA	0.02% + 150 nA
	±150 μA	100 pA	0.02% + 20 nA
	±15 μA	10 pA	0.02% +3 nA
	±1.5 μA2	1 pA	0.03% + 600 pA
	±150 nA2	100fA	0.05% + 300 pA
溫度系數	±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1，10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2，小電流測量，建議使用三同軸線纜連接 Force Hi接芯線，Guard接內屏蔽層，外屏蔽層接保護地，Force Lo接芯線，內屏蔽層不接，外屏
蔽層接保護地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。

電阻表指標（4 線）

電阻測量精度	量程	顯示分辨率	默認測量電流	典型精度(1 年) ±(% 讀數+偏置)
	1 Ω	1 uΩ	1 A	0.09% + 0.5 mΩ
	10 Ω	10 uΩ	100 mA	0.065% + 5 mΩ
	100 Ω	100 uΩ	10 mA	0.065% + 50 mΩ
	1 KΩ	1 mΩ	1 mA	0.055% + 500 mΩ
	10 KΩ	10 mΩ	100 uA	0.065% + 5 Ω
	100 KΩ	100 mΩ	10 uA	0.07% + 50 Ω
	1 MΩ	1 Ω	1 uA	0.05% + 500 Ω
	10 MΩ	10 Ω	0.1 uA	0.65% + 5KΩ
	100 MΩ	100 Ω	0.05 uA	1.27% + 10 KΩ
溫度系數	±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手動電流源電阻測量（四線）	總體誤差 = 測量電壓/電流源設定電流 = 電阻讀數 x (電壓源量程的增益誤差百分比 + 電流表量程的增益誤差百分比 + 電流源量程偏置誤差/設定電流) + (電壓源量程偏置誤差/設定電流值) 示例：電流源設定電流=1A 電壓測量量程=6V 總體誤差=（0.02%+0.02%+500uA/1A）+(500uV/1A) =0.09%+0.5mΩ

脈沖源指標（4線）

*小可編程脈寬	100μs
脈寬編程分辨率	1μs
脈寬編程精度	±10μs
脈寬抖動	2μs
脈沖寬度定義	如下圖所示，從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時間

脈沖技術指標	*大電流限制	*大脈沖寬度	*大占空比
1	0.15A/200V	DC,無限制	100%
2	1.5A/20V	DC,無限制	100%
3	3A/6V	DC,無限制	100%
4	3A/20V	1mS	10%
5	10A/6V	1mS	10%

脈沖源上升時間（4 線）

輸出	量程	典型上升時間 1,3	典型穩定時間 2,3	測試負載
電壓源	200 V	600 μS	1.5 mS	空載
	20 V	200 μS	360 μS	空載
	6 V	160 μS	300 μS	空載
電流源	10 A	140 μS	320 μS	滿載
	3 A	120 μS	280 μS	滿載
	1.5 A	120 μS	280 μS	滿載
	150 mA	120 μS	280 μS	滿載
	15 mA	120 μS	280 μS	滿載
	1.5 mA	120 μS	280 μS	滿載

1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時間。
2，脈沖達到距離*終值 1%的所需的時間。
3, 電流源測試基于 6V 電壓量程下測試，105%滿量程鉗位設定。

I-V 輸出能力

輸出建立時間

輸出	量程	典型輸出建立時間			測試條件
輸出	量程	Fast 1,2	Normal 1	Slow1	測試條件
電壓源	200V	<1.3mS	<1.5mS	<2.5ms	在開路負載條件下，達到距離*終值 0.1% 以內所需的時間。步進是范圍 10% 至90%。
	20V	<300μS	<360μS	<1ms
	6V	<150μS	<250μS	<1ms
	200mV	<200μS	<250μS	<1ms
電流源	3A	<200μS	<280μS	<1.2ms	在短路條件下，達到距離*終值 0.1% 以內（對于 3 A范圍，為 0.3 %）所需的時間。步進是范圍的 10%至90%。6V 電壓量程， 105%滿量程鉗位設定
	1.5A	<200μS	<280μS	<1.2ms
	150mA	<200μS	<280μS	<1.2ms
	15mA	<200μS	<280μS	<1.2ms
	1.5mA	<200μS	<280μS	<1.2ms
	150μA	<250uS	<300uS	<1.2ms
	15μA	<250uS	<1.2mS	<2ms
	1.5uA	<600uS	<1.2mS	<5mS
	150nA	<600uS	<5mS	<12mS

1，輸出轉換速率：Fast,Normal,Slow。
2，Fast 模式在不同的量程或負載條件下輸出可能會出現較大過沖，過沖敏感設備建議用 Slow 模式。

采樣率及 NPLC 設置

配置方式	配置范圍
NPLC	0.00005PLC ~ 10PLC
Sampling Rate	5sps ~ 1Msps

測量精度降額（PLC<1）
誤差增加量程的百分比

PLC	量程
PLC	200mV	6V	20 至 200V	150nA 至 1.5uA	15uA	150uA 至 150mA	1.5A 至 3A
0.1	0.02%	0.01%	0.01%	0.02%	0.01%	0.01%	0.01
0.01	0.30%	0.03%	0.02%	0.20%	0.04%	0.02%	0.02%
0.001	3.20%	0.40%	0.10%	2.50%	0.40%	0.03%	0.03%

補充特征

傳感模式	2 線或 4 線（遠程傳感）連接
*大傳感引線電阻	1 kΩ（額定精度）
2 線內部線壓降	<60mV/A
遠程傳感輸出端與傳感端*大電壓	2V
輸出連接器*大輸出電壓	>滿量程 105%（200V 量程>202V）
直流浮地電壓	±250 V DC
SWEEP 掃描	掃描間隔從 20uS 至 16S 可配置，單次掃描*大 64K 點
自動量程	支持，過沖敏感設備建議切換量程前關閉輸出再做量程切換動作
延時測量（SOURCE DELAY）	支持，建議用戶設置合適的SOURCE DELAY 以獲得更準確的測量值
過溫保護	當檢測到內部溫度過高時，輸出關閉，待溫度回到 65 度以下會恢復操作使用
過壓保護（OVP）	當輸出超出OVP 設定值時關閉輸出，設備重置后可進一步操作，精度：±(1%Setting+500mV)
其他輸出異常保護	斷電重啟，可恢復操作或硬件損壞

通信端口

以太網		100BASE-T / 10BASE-T
USB		USB 2.0 HOST（前）
USB		USB 2.0 DEVICE（后）
數字 I/O DB9	Pin5	地
優良*大輸入電壓：5.25	Pin6	IO1，數字I/O，同步信號輸入口
優良*小輸入電壓：-0.25V	Pin7	IO2, 數字 I/O，同步信號輸出口
*小邏輯高電平：2.1V
*高邏輯低電平：0.7V，
*大邏輸出電流：2mA
*大吸電流：-50mA

環境指標

環境	在室內設施中使用
工作	0 °C 至 +50°C，30 % 至 70 % 相對濕度無冷凝
儲存	-30 °C 至 70 °C，10 % 至 90 % 相對濕度無冷凝
海拔	高度工作：0 m 至 2000 m，儲存：0 m 至 4600 m
電源	90 V 至 264 V，47 Hz 至 63 Hz，250 VA * 大值
預熱	1 小時
尺寸	450 × 212× 105mm(含腳墊、把手及旋扭)
重量	凈重 5.2 kg

前面板

顯示	5.0 寸 TFT 液晶屏，電容觸模，分辨率 800*480
固定功能鍵	Trigger,Home,Cancel，開機鍵，通道開關，旋轉按鈕
非固定功能鍵	LCD 映射功能鍵
接口	USB 主機接口，輸出接口，機殼地接口

后面板

電源線，USB 線，測試線（兩根），快速參考，U 盤（包括 PDF 手冊、快速 I/V 測量軟件和驅動程序）。

產品型號
S3012H	單通道精密型電源/測量單元，脈沖源

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臺灣艾德克斯 IT8513C，常州同惠 TH2829C，北京普源 DG800信號發生器，臺灣艾德克斯 電源，程控耐壓測試儀，可編程直流電源

國產高精度源表S3012H助力半導體行業測試

臺灣艾德克斯 IT8513C，常州同惠 TH2829C，北京普源 DG800信號發生器，臺灣艾德克斯電源，程控耐壓測試儀，可編程直流電源